许开东导师

发布者：周浩发布时间：2022-12-28浏览次数：10

导师个人档案

姓名：

许开东

性别：

男

出生年月：

1977.03

学历：

博士研究生

职务：

无

职称：

教授

Email：

kaidong.xu@leuven-instruments.com

专业与主要研究方向：

  1. 专业：半导体器件及工艺技术

  2. 主要研究方向：半导体设备及工艺技术，具体有集成电路装备制造和相关材料刻蚀沉积等工艺研究

教授课程：

  1. 创新创业与科研训练课程

  2. 半导体器件与技术相关讲座

研究生培养基础要求：

对半导体材料、工艺和设备相关研究和科研工作有浓厚兴趣，热爱创新工作。

个人教育简历：

1995 – 1999, 北京大学 化学学士

1999 – 2004, 比利时鲁汶大学 化学博士

个人工作简历：

2004-2010, 科林研发 （Lam），奥地利，担任项目经理、资深研发经理

2010-2015, 比利时微电子所（IMEC），等离子刻蚀组研发主管、经理

2015-至今，江苏鲁汶仪器有限公司， 董事长兼总经理

2018-至今，江苏师范大学 教授

代表性论文：

1.     Xu Kaidong*, Hu Dongdong, Che Dongche, Sun Hongyue, Mikhal. R. Baklanov,Tang Jiale, Zhuang Shiwei, Chen Lu; A Patterning Solution by Utilizing Combined Etching for STT-MRAM，IEDM, San-Francisco, USA, 2018-12-3至2018-12-5.

2.     Xu Kaidong, Pichler Stefan, Wostyn Kurt, Cado Geiwado, Springer Climent*, Gale Glenn, Dalmer Michael, Mertens Paul, Bearda Twan, Gaulhofer Ernst, Podlesnik Dragan; Removal of Nano-particles by Aerosol Spray: Effect of Droplet Size and Velocity on Cleaning Performance， Solid State Phenomena, 2009, 145-146: 31-34.

3.     Xu Kaidong*, Lauwers Ann, Vos Rita, Archer Leo, Kraus Harald, Demeurisse, Merterns Sofie Christeen, Mertens Paul, Henry Sally-Ann, Gale Glenn, Kovacs Frederic, Dalmer Michael, Gaulhofer Ernst; Post Salicidation Clean: Selective Removal of Un-reacted NiPt towards NiPtSi(Ge), ECS Transactions, 2007,11 (2): 327-334

4.     Xu Kaidong*, VereeckeGuy, Kesters Els, Le Quoc-Toan, Lux Marcel, Henry Sally-Ann, Kraus Harald, Archer Leo, Mertens Paul, Kovacs Frederic, Dalmer Miachel, Gaulhofer Ernst, Luo Shijian, Han Qingyuan, Berry Ivan; Modifications of Porous Low-N by Plasma Treatments and Wet Cleans, ECS Transactions, 2007, 11 (2): 409-416

5.      Xu Kaidong*,VosRita, Vereecke Guy, Doumen Geert, Fyen Wim, Mertens Paul, Heyns Marc, Vinckier Christian, Fransaer Jan, Kovacs Frederic; Fundamental study of the removal mechanisms of nano-sized particles using brush scrubber cleaning, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2005, 23(5): 2159-2175.


专利：

  1. METHOD FOR TREATING A SEMICONDUCTIOR   WAFERPCT/IB2010/052648 WO 2010-12-29   1/2

  2. METHOD FOR TREATING A SEMICONDUCTIOR   WAFERPCT/IB2010/052646 US 2012-04-26   1/5

  3. 一种机械手臂上结构改良的夹爪 ZL201610266269.3 中国   2018-01-09 1/1

获奖情况：

  1. 2016年，入选江苏省双创团队

  2. 2017年，入选江苏省双创个人

  3. 2016年，入选徐州市双创个人

  4. 2017年，入选“六大高峰人才团队”领军人才

  5. 2017年，第五届中国江苏创新创业大赛三等奖

  6. 2017年，江苏省领军型新生代企业家培养对象